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MLT-PT90渦輪分子泵機組
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產品/服務: 瀏覽次數:224MLT-PT90渦輪分子泵機組 
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產品優勢
渦輪分子泵組MLT-PT90系列是米立特公司新型的組合式分子泵,能產生5×10-8mbar以上的真空度,同時具有使用簡單可靠的特點,被各地的用戶廣泛使用。它的主要特點如下:
詳細信息
渦輪分子泵組MLT-PT90系列是米立特公司新型的組合式分子泵,能產生5×10-8mbar以上的真空度,同時具有使用簡單可靠的特點,被各地的用戶廣泛使用。它的主要特點如下:
? 前泵與分子泵合為一體,不需要再另接前泵。
? 前泵采用干式運行的隔膜泵,使整套設備免維護,干式運行,體積小,重量輕。
? 自動測量前泵產生的真空壓力并自動啟動分子泵,不需要附加裝置和人為控制,前泵與分子泵的配合完全自動化。
? 配有給容器充氣的充氣開關。
? 當達到一定的真空壓力后,可選擇自動關閉前泵,以節省電源,增加設備的使用壽命。
? 采用自動空氣冷卻。
? 結構特別緊湊,性能可靠。
? 操作特別簡單,只用一個總開關便可開關渦輪分子泵組。
技術參數:
Description MLT-PT90i/DIVAC 3.0 MLT-PT90i/Ecodry 25 plus
Turbomolecular pump  TURBOVAC 90i TURBOVAC 90i
Fore vacuum pump(Dry)   DIVAC3.0    Ecodry 25 plus
High vacuum connection DN 63 ISO-K/CF DN 63 ISO-K/CF
Turbopump Operating speed 7200rpm 7200rpm
Pumping speed for N2/H2 90I/s  /  78I/s 90I/s  /  78I/s
UItimate pressure 63 ISO-K:<8×10-8mbar  63CF:<5×10-10mbar 63 ISO-K:<8×10-8mbar  63CF:<5×10-10mbar
Fore pumping speed 3.0 m3/h 25 m3/h
Mains supply 230±10% V 230±10% V
Number of gauges,max. 2 2
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