雙級型的滑閥泵,實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上,有的是直接鑄成一個整體,是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種,有立式和臥式兩種結構形式。單級泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用,也可作其它泵的前級泵用。
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