FANUC A06B-6077-H111
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FANUC A06B-6077-H111真空環境下的多軸精密軸系的設計,采用軸在軸中的設計方法,減小軸之間的不同心以及慣量不對稱的問題。 可靠性系統工程技術,在IC制造中,設備故障會帶來巨大的損失。根據半導體設備對MCBF的高要求,對各個部件的可靠性進行測試、評價和控制,提高機械手各個部件的可靠性,從而保證機械手滿足IC制造的高要求。 動態軌跡修正技術,通過傳感器信息和機器人運動信息的融合,檢測出晶圓與手指之間基準位置之間的偏移,通過動態修正運動軌跡,保證機器人準確地將晶圓從真空腔室中的一個工位傳送到另一個工位。
l Siemens(西門子):Siemens MOORE, Siemens Simatic C1,Siemens數控系統等。 |